名 稱 | 參 數(shù) | 名 稱 | 參 數(shù) |
工作模式 | 輕敲模式、接觸模式 | 掃描角度 | 任 意 |
樣品尺寸 | Φ≤80mm;H≤20mm | 樣品移動范圍 | 0~20mm |
掃描范圍 | 橫向50um,縱向5um | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2m |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | CCD放大倍數(shù) | 光學(xué)放大0.6~5X,電子放大40X |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點 | 256×256,512×512 |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
儀器重量體積 | 40KG,700*480*450mm | 計算機(jī)接口 | USB2.0 |
運行環(huán)境 | 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |