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德國(guó) ParcanNano百及納米單離子注入系統(tǒng)
parcannano 納米精準(zhǔn)定位的單離子注入系統(tǒng) sii,基于新型掃描針尖精準(zhǔn)定位的離子注入系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)有效控制注入半導(dǎo)體器件的雜質(zhì)種類、數(shù)量和位置。可用于基于電離雜質(zhì)誘導(dǎo)的量子點(diǎn)所構(gòu)建的量子信息域，研制的設(shè)備可用于探索納米結(jié)構(gòu)器件、量子比特系統(tǒng)和量子信息處理器電路的開(kāi)發(fā)。
更新時(shí)間:2024-12-20

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