探針臺(tái)價(jià)格
1儀器概述
CS-4探針臺(tái)造型小巧,測(cè)量精度,操作方便,符合人機(jī)工程學(xué)。
2適用范圍
CS-4探針臺(tái)的適用范圍:
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。
3技術(shù)參數(shù)
CS-4探針臺(tái)的技術(shù)參數(shù):
規(guī)格 | ||
Chuck(可選) | 4" 或6" 不銹鋼,真空吸附型,獨(dú)立開關(guān)控制 | |
Chuck X-Y軸行程,精度 | 4" x4",10um | |
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度 | 0~360 度 | |
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度微調(diào)精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降(選配) | 4mm | |
Chuck微調(diào)升降(選配) | 4mm ,1um精度 | |
Chuck 平整度 | 5um | |
針座平臺(tái) | C型設(shè)計(jì),可放置8個(gè)BT 型針座,可擴(kuò)展為O型平臺(tái) | |
針座平臺(tái)平整度 | 5 um | |
顯微鏡Z軸行程,精度 | 2",細(xì)調(diào)精度0.1um | |
需求 | ||
電力 | 220 VAC, 60Hz | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
尺寸 | ||
320mm寬*320mm長(zhǎng)*400mm(帶顯微鏡) | ||
重 20 Kg(帶顯微鏡) | ||
可選附件 | ||
激光切割 | ||
加熱臺(tái) | ||
防震桌 | ||
顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè) | ||
光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | ||
射頻測(cè)試探頭和線纜 | ||
有源探頭 | ||
低電流/電容測(cè)試 | ||
壓測(cè)試 | ||
CCD視頻系統(tǒng) | ||
液晶漏電分析套裝 | ||
屏蔽箱 | ||
鍍金Chuck |
4工作環(huán)境
CS-4探針臺(tái)的工作環(huán)境:
●探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在溫,潮濕激烈震動(dòng),陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
●使用佳溫度范圍為5℃~40℃,佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
●使用電源:220±10%,50~60Hz
●探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在溫,潮濕激烈震動(dòng),陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
●使用佳溫度范圍為5℃~40℃,佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。
●使用電源:220±10%,50~60Hz
5測(cè)試應(yīng)用
CS-4探針臺(tái)能夠勝任的測(cè)試有:
序號(hào) | 根據(jù)測(cè)試樣品分類 | 序號(hào) | 根據(jù)應(yīng)用分類 |
1 | 晶圓測(cè)試 | 1 | 射頻測(cè)試 |
2 | LED測(cè)試 | 2 | 溫環(huán)境測(cè)試 |
3 | 功率器件測(cè)試 | 3 | 低電流(100fA 級(jí))測(cè)試 |
4 | MEMS測(cè)試 | 4 | I-v/c-v/p-iv測(cè)試 |
5 | PCB測(cè)試 | 5 | 壓,大電流測(cè)試 |
6 | 液晶面板測(cè)試 | 6 | 磁場(chǎng)環(huán)境測(cè)試 |
7 | 太陽能電池片測(cè)試 | 7 | 輻射環(huán)境測(cè)試 |
8 | 材料表面電阻率測(cè)試 | 9 | 積分球測(cè)試 |
6部件名稱
CS-4探針臺(tái)的部件名稱:
1、CCD轉(zhuǎn)接口 | 6、鍍鉻U型平臺(tái) | 11、顯微鏡調(diào)焦架 | 16、X平移旋鈕 |
2、顯微鏡倍率調(diào)節(jié)旋鈕 | 7、顯微鏡架固定座 | 12、環(huán)形光源 | 17、Y平移旋鈕 |
3、顯微鏡調(diào)焦旋鈕 | 8、探針臺(tái)底板 | 13、4寸樣品臺(tái)(卡盤) | 18、氣孔吸附開關(guān) |
4、顯微鏡支撐架 | 9、底板支柱 | 14、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào) | |
5、固定塊 | 10、顯微鏡目鏡20X | 15、U型平臺(tái)支柱 |
7安裝說明
CS-4探針臺(tái)的安裝說明:
1、樣品臺(tái)安裝:在樣品臺(tái)X平移上找到樣品臺(tái)組件螺孔,選擇合適螺桿進(jìn)行安裝; 2、顯微鏡支撐架安裝:選擇合適位置用固定塊將不銹鋼管固定在起(如下圖),固定好之后放入固定座,并用頂絲頂住; 3、顯微鏡調(diào)焦架安裝: 4、顯微鏡安裝: 5、光源安裝:將緊固螺絲擰松,將環(huán)形光源安裝在顯微鏡下方,緊固螺絲。 6、探針夾具安裝
● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上,可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置
● 將探針座擺放在U型平臺(tái)上固定好,擰松傾仰夾頭4個(gè)螺絲,把夾具金屬桿放入限位孔內(nèi),調(diào)整合適位置后擰緊螺絲
● 用鑷子夾住探針中部,將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出,將探針插入固定孔,調(diào)整好位置后放松彈簧(注意:操作過程中不要觸碰到針尖,否則針尖會(huì)變彎)
1、樣品臺(tái)安裝:在樣品臺(tái)X平移上找到樣品臺(tái)組件螺孔,選擇合適螺桿進(jìn)行安裝; 2、顯微鏡支撐架安裝:選擇合適位置用固定塊將不銹鋼管固定在起(如下圖),固定好之后放入固定座,并用頂絲頂住; 3、顯微鏡調(diào)焦架安裝: 4、顯微鏡安裝: 5、光源安裝:將緊固螺絲擰松,將環(huán)形光源安裝在顯微鏡下方,緊固螺絲。 6、探針夾具安裝
● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上,可以根據(jù)需要進(jìn)行上下調(diào)節(jié)位置
● 將探針座擺放在U型平臺(tái)上固定好,擰松傾仰夾頭4個(gè)螺絲,把夾具金屬桿放入限位孔內(nèi),調(diào)整合適位置后擰緊螺絲
● 用鑷子夾住探針中部,將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出,將探針插入固定孔,調(diào)整好位置后放松彈簧(注意:操作過程中不要觸碰到針尖,否則針尖會(huì)變彎)
8相關(guān)配件
CS-4探針臺(tái)的相關(guān)配件:
1、體式顯微鏡 (可選配倍率晶相顯微鏡) 產(chǎn)品參數(shù)和點(diǎn)
1、鑒別力,視場(chǎng)范圍大,景深長(zhǎng)。
2、工作距離長(zhǎng)至115mm。
3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度,能滿足不同視力的操作者觀察。
4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩,滿足不同操作者的使用習(xí)慣,更可以鎖定手輪,方便定倍觀察。
5、本顯微鏡為連續(xù)變倍,變倍比為6.3:1 ,物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6、雙目觀察傾斜45度,雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):
產(chǎn)品造型比較新穎
機(jī)械性優(yōu)越,操作舒適度。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上,符合際標(biāo)準(zhǔn)
長(zhǎng)的工作距離位于內(nèi)同行之首
獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)
創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì),產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A性:
密封性-------防塵,防油\防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵\防油\防水或其它污染-----這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域:
教學(xué)示范,生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè),材料分析等領(lǐng)域。
2、針座和探針夾具(可選)
3、JVC模擬CCD
點(diǎn)
●1/3寸CCD,44萬像素
●535電視線的水平分辨率
●0.7Lux的低照度(F1.2,25%,AGC開啟)
●50dB的信噪比(AGC OFF)
●內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡 性
●可選擇的影像來源信號(hào)
可以提供不同的輸入端子,使其能夠連接不同的影像
輸出設(shè)備,如錄放影機(jī)、家庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、
影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī),提供全方位的解決方案。
●可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉,并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔,再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體,便可加入各種效與剪接編輯。
4、探針夾具
● 彈簧式
使用便利,可用于較短時(shí)間的大電流(過1安培)穩(wěn)定性好,采用進(jìn)口同軸線纜,精度漏電為10PA,輸出BNC(male)接頭
● 管狀式
測(cè)量微弱電流用,同時(shí)可接壓,采用進(jìn)口triax線纜,前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu),漏電小于100FA,壓可耐1000V(需要配合屏蔽箱)
5、探針
美GGB
6、真空泵
日東工器VP0125
規(guī)格:
●電壓:AC220V
●流量:7L/min
●真空度:-60KPa
●質(zhì)量:0.7Kg
功能
●提供真空動(dòng)力源。
●配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
●配合真空吸附型探針座,固定探針座。
點(diǎn)
●無油靜音,別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
●7升/分鐘,可24小時(shí)無間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。
7、防震桌:韓大DVIO系列 規(guī)格說明
●尺寸:48”寬X36”長(zhǎng)(120cm寬X90cm長(zhǎng))
●承重:200kg
防震效果
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征頻率 1.9HZ 垂直本征頻率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振頻率 2.2Hz 水平本振頻率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6 參數(shù)和點(diǎn)
●尺寸:880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm
●屏蔽光線和電磁干擾。
●匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。
●與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ,可抗2000V壓。
●屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭,便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
●上掀式結(jié)構(gòu),節(jié)約空間,操作便捷。
●可根據(jù)客戶需求定制。
1、體式顯微鏡 (可選配倍率晶相顯微鏡) 產(chǎn)品參數(shù)和點(diǎn)
1、鑒別力,視場(chǎng)范圍大,景深長(zhǎng)。
2、工作距離長(zhǎng)至115mm。
3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度,能滿足不同視力的操作者觀察。
4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩,滿足不同操作者的使用習(xí)慣,更可以鎖定手輪,方便定倍觀察。
5、本顯微鏡為連續(xù)變倍,變倍比為6.3:1 ,物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6、雙目觀察傾斜45度,雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):
產(chǎn)品造型比較新穎
機(jī)械性優(yōu)越,操作舒適度。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上,符合際標(biāo)準(zhǔn)
長(zhǎng)的工作距離位于內(nèi)同行之首
獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)
創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì),產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A性:
密封性-------防塵,防油\防水污染
此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵\防油\防水或其它污染-----這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域:
教學(xué)示范,生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測(cè),材料分析等領(lǐng)域。
2、針座和探針夾具(可選)
針座規(guī)格 | CB-80型 | CB-100型 | CB-40-T型 | CB-40型 |
尺寸 | 94mmW× 97mmD× 95mmH | 112mmW× 86mmD× 108mmH | 73mmW ×48mmD× 68mmH | 38mmW ×62mmD× 45mmH |
重量 | 680克 | 650克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.7 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 100牙/寸 | 牙具100牙/寸 | 80牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z線性行程 | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm |
●1/3寸CCD,44萬像素
●535電視線的水平分辨率
●0.7Lux的低照度(F1.2,25%,AGC開啟)
●50dB的信噪比(AGC OFF)
●內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡 性
●可選擇的影像來源信號(hào)
可以提供不同的輸入端子,使其能夠連接不同的影像
輸出設(shè)備,如錄放影機(jī)、家庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、
影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī),提供全方位的解決方案。
●可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時(shí)的動(dòng)態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉,并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔,再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體,便可加入各種效與剪接編輯。
4、探針夾具
● 彈簧式
使用便利,可用于較短時(shí)間的大電流(過1安培)穩(wěn)定性好,采用進(jìn)口同軸線纜,精度漏電為10PA,輸出BNC(male)接頭
測(cè)量微弱電流用,同時(shí)可接壓,采用進(jìn)口triax線纜,前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu),漏電小于100FA,壓可耐1000V(需要配合屏蔽箱)
美GGB
型號(hào) | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長(zhǎng) | 材質(zhì) | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針 |
|||||
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |||||
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |||||
硬針類:適用于集成電路電極點(diǎn)針 |
|||||
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 5 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 5 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 5 |
規(guī)格:
●電壓:AC220V
●流量:7L/min
●真空度:-60KPa
●質(zhì)量:0.7Kg
功能
●提供真空動(dòng)力源。
●配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
●配合真空吸附型探針座,固定探針座。
點(diǎn)
●無油靜音,別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
●7升/分鐘,可24小時(shí)無間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。
7、防震桌:韓大DVIO系列 規(guī)格說明
●尺寸:48”寬X36”長(zhǎng)(120cm寬X90cm長(zhǎng))
●承重:200kg
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征頻率 1.9HZ 垂直本征頻率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振頻率 2.2Hz 水平本振頻率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6 參數(shù)和點(diǎn)
●尺寸:880mm寬x710mm長(zhǎng)x1140mm
●屏蔽光線和電磁干擾。
●匹配探針臺(tái)和防震桌設(shè)計(jì)。
●與探針夾具配合可將測(cè)試電信號(hào)的漏電精度達(dá)到100fa ,可抗2000V壓。
●屏蔽箱上配備轉(zhuǎn)接頭,便于在關(guān)閉屏蔽箱時(shí)線路在箱內(nèi)外的良好連接。
●上掀式結(jié)構(gòu),節(jié)約空間,操作便捷。
●可根據(jù)客戶需求定制。
9使用說明
CS-4探針臺(tái)的使用說明:
1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、顯微鏡切換為倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。
1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、顯微鏡切換為倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。
10常見故障
CS-4探針臺(tái)的常見故障:
當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。
當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺(tái)不水平 | 調(diào)水平樣品臺(tái) | |
樣品不平 | ||
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足,邊緣切割或看不到像 | 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 | 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤不在定位位置上 | 把管鏡轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)到定位位置上 | |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 | |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 | |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 | |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 |
對(duì)目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 | |
沒有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 | |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開蓋玻片等介質(zhì) | |
圖像邊清晰,邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本,或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 | |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 | |
照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
11維護(hù)保養(yǎng)
CS-4探針臺(tái)的維護(hù)保養(yǎng):
1、避免碰撞
●在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
2、儀器的運(yùn)輸
●儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
●儀器運(yùn)輸應(yīng)使用門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
3、儀器的存放
●使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。
●探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
●探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。
●停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.
●操作人員必須嚴(yán)格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
1、避免碰撞
●在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。
2、儀器的運(yùn)輸
●儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。
●儀器運(yùn)輸應(yīng)使用門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
3、儀器的存放
●使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。
●探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。
●探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。
●停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.
●操作人員必須嚴(yán)格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
12同類案例
CS-4探針臺(tái)的同類案例:
清華大學(xué)材料系,廈門大學(xué),華僑大學(xué),南京郵電大學(xué),成都電子科技大學(xué),中科院半導(dǎo)體所,中科院蘇州納米研究院,世紀(jì)晶圓,方正微電子等數(shù)十客戶。
清華大學(xué)材料系,廈門大學(xué),華僑大學(xué),南京郵電大學(xué),成都電子科技大學(xué),中科院半導(dǎo)體所,中科院蘇州納米研究院,世紀(jì)晶圓,方正微電子等數(shù)十客戶。
13售后服務(wù)
CS-4探針臺(tái)的售后服務(wù):
15產(chǎn)品相冊(cè)
17留言咨詢(5分鐘應(yīng)答)
您留言咨詢的信息,系統(tǒng)會(huì)以短信、郵件、微信三種方式同時(shí)通知客戶。
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