多層膜磁控濺鍍設(shè)備 Multilayer sputter, 定制商品, 價(jià)格貨期電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)多層膜的結(jié)構(gòu)廣泛用于各個(gè)域. 在單一材料薄膜無法滿足所需規(guī)格的精密系統(tǒng)中, 高質(zhì)量多層膜的作用至關(guān)重要. 因此, 新材料的開發(fā)和薄膜的準(zhǔn)確控制制程已成為當(dāng)多層薄膜研究的重要方向. 上海伯東代理多層膜磁控濺鍍設(shè)備 Multilayer sputter 擁有基板公自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu), 搭配美國 KRI 離子源可實(shí)現(xiàn)多層膜結(jié)構(gòu)并可以一次批量生產(chǎn), 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 納米科技, 太陽能電池, 科研等行業(yè), 氧化物, 氮化物和金屬材料的研究等.上海伯東多層膜磁控濺鍍設(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)客制化基板尺寸, 大直徑可達(dá) 12寸晶圓薄膜均勻度小于 ±3%磁控濺鍍源(多6個(gè)源), 靶材尺寸多種可選射頻, 直流或脈沖直流, 分別用于非導(dǎo)電, 導(dǎo)電靶材具有順序操作或共沉積的多個(gè)濺鍍源流量控制器(多4條氣體管線)基板可加熱到 600°C基材到靶材的間距可調(diào)節(jié)每個(gè)濺鍍源和基板均安裝遮板載臺可公自轉(zhuǎn)或定在靶材位置自轉(zhuǎn)磁控濺鍍設(shè)備基本參數(shù)
系統(tǒng)類型 | Real 超高真空 | 超高真空 | 高真空 | 緊湊型高真空 |
限真空 | 5X10-10 Torr | 5X10-9 Torr | 3X10-7 Torr | 5X10-7 Torr |
腔室密封 | 全部 CF(烘烤) | 一些密封圈(烘烤) | 全部密封圈 | 全部密封圈 |
電子槍 | 3-4, 2-3 英寸 | 3-4, 2-4 英寸 | 3-4, 2-4 英寸 | 3-4, 2-3 英寸 |
電源 | DC / DC pulse / RF | DC / DC pulse / RF | DC / DC pulse / RF | DC / DC pulse / RF |
Load-lock | 標(biāo)準(zhǔn)(HV) | 標(biāo)準(zhǔn)(HV) | 標(biāo)準(zhǔn)(HV)/可選 | 標(biāo)準(zhǔn)(HV)/可選 |
基板 | 4-6 英寸 加熱至 800°C或水冷 | 4-8 英寸 加熱至 800°C或水冷 | 4-8 英寸 加熱至 800°C | 4-6 英寸 加熱至 800°C |
真空泵 | 低溫泵 | 低溫泵 / 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
監(jiān)控 | 真空規(guī)和Baratron | 真空規(guī)和Baratron | 真空規(guī)和Baratron | 真空規(guī)和Baratron |
工藝控制 | 部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥 | 部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥 | 部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥 | 部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥 |
氣體 | 氬氣, 氮?dú)? 氧氣(load-lock可選) | 氬氣, 氮?dú)? 氧氣(load-lock可選) | 氬氣, 氮?dú)? 氧氣 | 氬氣, 氮?dú)? 氧氣 |
射頻偏壓清潔 | 300W RF(清潔和蝕刻) | 300W RF(清潔和蝕刻) | 可選 | 可選 |
離子源 | 100 KRi 離子源 | 100 KRi 離子源 | 可選 | 可選 |
薄膜 | 鈦氮化鈮NbTiN, 鈮 Nb, 鈀Pd等 | 鈦氮化鈮NbTiN, 鈮 Nb, 鈀Pd等 | 二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化鋁Al2O3 等 | 二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化鋁Al2O3 等 |
腔體客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用寬大的開式門, 并有兩個(gè)窗口和窗口遮版用于觀察基材和濺鍍源具有顯示功能的全量程真空計(jì)和用于壓力控制的 Baratron 真空計(jì)腔體的限真空度約 10-8 Torr選件可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起結(jié)合離子源, 熱蒸發(fā)源, 電子束...基板可用射頻或直流偏壓膜厚監(jiān)測儀射頻等離子清潔用于基材OES, RGA 或制程監(jiān)控的額外備用端口應(yīng)用域半導(dǎo)體類, 納米科技產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量檢查氧化物, 氮化物和金屬材料的研究太陽能電池光學(xué)研究, 材料研究若您需要進(jìn)一步的了解上海伯東磁控濺射鍍膜機(jī), 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐T: +86-21--3511 ext 107 T: +886-3--9508 ext 161F: +86-21-- F: +886-3--0049M: +86 -883- ( 微信同號 ) M: +886-975-571-910qq: 2821409400 現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 -883-上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!