WGL光電輪廓儀價(jià)格:98000元。
WGL光電輪廓儀介紹
1 WGL光電輪廓儀獲2007年BCEIA金獎(jiǎng),2007年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng),2006-2007年度科學(xué)儀器優(yōu)秀新產(chǎn)品獎(jiǎng)。專利號:ZL200610148202.6。
2 WGL光電輪廓儀采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法,測量時(shí)不損傷工件表面,能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形,并分析計(jì)算出測量結(jié)果。
3 WGL光電輪廓儀適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度,標(biāo)尺、度盤的刻線深度,光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌,磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量,硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。
4 WGL光電輪廓儀測量精度高,重復(fù)性好,具有非接觸和三維測量等特點(diǎn),并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測量結(jié)果。
5 WGL光電輪廓儀適用于各級測試、計(jì)量研究單位,工礦企業(yè)計(jì)量室,精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等。
WGL光電輪廓儀主要特點(diǎn)
6 儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習(xí)慣;
7 應(yīng)用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質(zhì)量;
8 用低壓電源代替高壓電源,節(jié)省了儀器成本;
9 用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷,解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題;
10 增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序,同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能。
WGL光電輪廓儀技術(shù)參數(shù)
· 表面微觀不平深度測量范圍:在連續(xù)表面上,相鄰二象素之間沒有大于1/4波長的高度突變時(shí):1000nm~1nm;相鄰二象素之間含有大于1/4波長的高度突變時(shí):130nm~1nm;
· 測量的重復(fù)性:δRa≤0.5nm;
· 物鏡倍率:40×;數(shù)值孔徑:0.65;工作距離:0.5mm;
· 儀器視場:目視Φ0.25mm,攝象0.13×0.13mm;
· 儀器放大倍數(shù):目視500×,攝象(計(jì)算機(jī)屏幕觀察)~2500×;
· 接收器測量列陣:1000×1000,象素尺寸:5.2×5.2μm;
· 測量時(shí)間/采樣(掃描)時(shí)間:1s;
· 儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡:反射率(高)~50%,反射率(低)~4%;
· 照明光源:白熾燈6V 5W;
· 綠色干涉濾光片波長:λ=530nm,半寬度λ=10nm;
· 主顯微鏡升程:110mm;
· 工作臺(tái)升程:5mm;
· X、Y方向移動(dòng)范圍:~10mm;
· 工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍:360°;
· 工作臺(tái)傾斜范圍:±6°;
· 操作系統(tǒng):WGL專用軟件,Windows XP或2000系統(tǒng);
· 電源:220V±22V,50Hz±1Hz;
· 外形尺寸:主機(jī)300mm×300mm×500mm,電源180mm×280mm×200mm;
· 儀器凈重:28kg。
產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字: 輪廓儀 WGL 光電輪廓儀