PG15-J型激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計量儀器,主要用于精密測量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源(波長為6328A)。對于干涉條紋可目視、測量讀數(shù)、照相留存記錄。工作時對防震要求一般。該儀器可應(yīng)用于光學(xué)車間、實驗室、計量室。如配購相關(guān)的必要附件,可精密測量光學(xué)平板的微小楔角、光學(xué)材料折射率n的均勻性,光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度,90o棱角的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差。主要技術(shù)參數(shù)1、標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑:D1=Φ146mm 不平度小于0.02μm(λ/30)。2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑:D2=Φ140mm 不平度小于0.03μm(λ/20)。3、準(zhǔn)直系統(tǒng):孔徑F/2.8, 工作直徑:D1=Φ146mm 焦距:f=400mm.4、測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o 成像物鏡:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=375、干涉室尺寸:深260寬300190mm。6、光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne)。7、儀器的外形尺寸:長寬高 350400720mm。8、儀器重量:100公斤。